发明名称 |
具有优化的热排放特性的孔板 |
摘要 |
提出一种具有优化的热排放特性的孔板。在用于对基底进行CSS涂覆的系统中,在具有升华的材料的被加热的坩埚与待涂覆的基底之间布置有孔板,其中,孔板在朝向坩埚和/或基底的侧上具有表面结构和/或涂覆部和/或遮盖部,其朝向坩埚提高了热排放和/或朝向基底减少了热排放。 |
申请公布号 |
CN106148898A |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201510210604.3 |
申请日期 |
2015.04.28 |
申请人 |
中国建材国际工程集团有限公司;CTF太阳能有限公司 |
发明人 |
巴斯蒂安·希普欣;彭寿 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
车文;张建涛 |
主权项 |
一种用于对基底进行CSS涂覆的系统,所述系统具有被加热的坩埚,所述坩埚具有进行升华的材料和开口,所述开口指向布置在所述开口之前的或引导经过所述开口的待涂覆的基底,其中,在基底与坩埚开口之间并且以遮盖住所述整个坩埚开口的方式布置有具有开口的孔板,其特征在于,所述孔板在朝向所述坩埚和/或所述基底的侧上具有表面结构和/或涂覆部和/或遮盖部,其相较于没有表面结构和/或涂覆部和/或遮盖部的孔板,朝向所述坩埚提高了热排放和/或朝向所述基底的减少了热排放。 |
地址 |
200063 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层 |