| 发明名称 | 层叠体、导电性层叠体及电子设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种利用热处理的铟锡氧化物膜的结晶化良好且结晶化后的铟锡氧化物膜的薄层电阻变小的层叠体。层叠体具有透明基材和铟锡氧化物层。铟锡氧化物层层叠在透明基材上且主要由非晶质的铟锡氧化物构成。铟锡氧化物层具有0.60at％以下的氢浓度。另外，铟锡氧化物层的热处理温度150℃和热处理时间30分钟的热处理后的薄层电阻成为200Ω/□以下。 | ||
| 申请公布号 | CN106165025A | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201580019590.5 | 申请日期 | 2015.04.09 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 吉冈和久;真下尚洋 |
| 分类号 | H01B5/14(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I | 主分类号 | H01B5/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 苗堃;金世煜 |
| 主权项 | 一种层叠体，具有透明基材和层叠在所述透明基材上且主要由非晶质的铟锡氧化物构成的铟锡氧化物层，所述铟锡氧化物层的氢浓度为0.60at％以下，且热处理温度150℃和热处理时间30分钟的热处理后的薄层电阻成为200Ω/□以下。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||