一种反射式高功率双金属振镜扫描系统

摘要

本实用新型公开了一种反射式高功率双金属振镜扫描系统，包括离轴椭球面镜与斜平面反射镜，且离轴椭球面镜与斜平面反射镜均为90°光束偏转角，离轴椭球面镜中心与斜平面反射镜中心连线垂直于离轴椭球面镜柱面中心轴，同时也与斜平面反射镜柱面中心轴重合，离轴椭球面镜柱面中心轴与斜平面反射镜柱面中心轴相互垂直，本实用新型结构设计新颖，采用双镜片振镜系统，光路结构简单，实现了聚焦与振镜同步，相同镀膜条件下，最大程度提高能量利用效率，适用于光纤耦合输出类激光器振镜小范围扫描加工，尤其在千瓦、万瓦级高功率光纤耦合输出激光器的二维激光扫描加工中更具优势。

主权项

一种反射式高功率双金属振镜扫描系统,其特征在于：包括离轴椭球面镜与斜平面反射镜，且所述离轴椭球面镜与所述斜平面反射镜均为90°光束偏转角，所述离轴椭球面镜中心与所述斜平面反射镜中心连线垂直于离轴椭球面镜柱面中心轴，同时也与斜平面反射镜柱面中心轴重合，所述离轴椭球面镜柱面中心轴与所述斜平面反射镜柱面中心轴相互垂直。