| 发明名称 | 光刻胶用量监控系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻胶用量监控系统，用于对光刻胶的用量进行实时监测，包括用于检测所述光刻胶重量的重量检测模块、对所述重量检测模块的用量信号进行采集的数据采集模块、数据传送模块以及接收所述数据传送模块传递的所述用量信号并对所述光刻胶的用量进行汇总的控制模块，所述数据采集模块与所述重量检测模块连接，所述数据传送模块与所述数据采集模块信号连接，所述控制模块与所述数据传送模块信号连接。本实用新型的光刻胶用量监控系统通过实时测量所述光刻胶的重量，可以准确地检测光刻胶的用量。 | ||
| 申请公布号 | CN205719198U | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201620630173.6 | 申请日期 | 2016.06.23 |
| 申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 赵敏敏 |
| 分类号 | G01G17/04(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | G01G17/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种光刻胶用量监控系统，用于对光刻胶的用量进行实时监测，其特征在于，包括用于检测所述光刻胶重量的重量检测模块、对所述重量检测模块的用量信号进行采集的数据采集模块、数据传送模块以及接收所述数据传送模块传递的所述用量信号并对所述光刻胶的用量进行汇总的控制模块，所述数据采集模块与所述重量检测模块连接，所述数据传送模块与所述数据采集模块信号连接，所述控制模块与所述数据传送模块信号连接。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 | ||