| 摘要 |
본 발명은, 통기구멍을 갖는 강성체와, 이 강성체의 하단면에 접착되어 통기구멍에 연통한 개구부를 갖는 워크를 흡착하여 유지하기 위한 흡착패드와, 통기구멍에 연통하여 통기구멍으로부터 에어를 흡인 또는 토출함으로써 개구부로부터 에어를 흡인 또는 토출하는 에어제어기구를 구비하고, 개구부에 워크를 접촉시키면서, 에어제어기구로 개구부로부터 에어를 흡인함으로써 흡착패드에 워크를 흡착하여 유지하고, 개구부로부터 에어를 토출함으로써 흡착패드로부터 워크를 탈착하는 워크유지장치로서, 흡착패드로부터 워크를 탈착할 때에, 에어제어기구에 의해 통기구멍으로부터 에어가 공급됨으로써 흡착패드의 워크와의 접촉면의 적어도 일부가 워크측으로 팽출되는 팽출부를 갖는 것을 특징으로 하는 워크유지장치이다. 이에 따라, 워크를 흡착패드로부터 탈리할 때, 워크와 흡착패드 사이의 흡착력을 약화시켜, 확실하게 워크를 탈리할 수 있는 워크유지장치가 제공된다. |
