用于补偿抖动的微机电系统装置和设备

摘要

公开了一种用于补偿抖动的微机电系统(MEMS)装置及设备。该MEMS装置包括：衬底；相对于衬底移动的从动构件；连接至从动构件和衬底的弹性构件；固定到衬底的用于驱动从动构件的驱动构件；以及固定到衬底并闩锁至从动构件的动态制动器。

主权项

一种MEMS装置，包括：衬底；相对于所述衬底移动的从动构件；连接至所述从动构件和所述衬底的弹性构件；固定到所述衬底以用于驱动所述从动构件的驱动构件；固定到所述衬底并且闩锁至所述从动构件的动态制动器；以及涂覆在所述动态制动器的整个表面上的绝缘层，其中所述从动构件包括闩槽，以及其中所述动态制动器和所述绝缘层被插入到所述闩槽中，以在没有通过所述驱动构件驱动所述从动构件时固定所述从动构件。