一种微纳三维打印装置

摘要

本发明公开一种微纳三维打印装置，该装置包括：纳米颗粒源；气流控制器，用于生成初始气流，并通过初始气流控制及输送产生自纳米颗粒源的纳米颗粒的运动速度和方向；纳米颗粒聚焦器件，包括由多根单毛细管组成的相互支撑的多孔聚焦部件及用于调节和更换多孔聚焦部件的配合组件，纳米颗粒聚焦器件用于接收出自气流控制器的载有纳米颗粒的初始气流并对纳米颗粒进行会聚，在出口端形成纳米颗粒焦斑；微纳器件成型载物台，与纳米颗粒聚焦器件所形成的纳米颗粒焦斑之间的距离可调；自动控制系统，与其他部件分别连接并对其进行控制和调节。通过本发明能提高纳米颗粒微束横截面单位面积上的纳米颗粒数。

主权项

一种微纳三维打印装置，其特征在于，包括：纳米颗粒源(1)；气流控制器(2)，设置于所述纳米颗粒源(1)的出口侧，用于生成初始气流(3)，并通过初始气流(3)控制及输送产生自所述纳米颗粒源(1)的纳米颗粒的运动速度和方向；纳米颗粒聚焦器件(4)，包括由多根单毛细管组成的相互支撑的多孔聚焦部件及用于调节和更换所述多孔聚焦部件的配合组件，其中在沿着所述纳米颗粒聚焦器件(4)中心对称轴线的方向上，单毛细管中空部分的直径逐渐减小；所述纳米颗粒聚焦器件(4)用于接收出自所述气流控制器(2)的载有纳米颗粒的初始气流(3)并对所述纳米颗粒进行会聚，在出口端形成纳米颗粒焦斑(5)；微纳器件成型载物台(6)，用于支撑打印成型的微纳器件，与所述纳米颗粒聚焦器件(4)所形成的纳米颗粒焦斑(5)之间的距离可调；自动控制系统(7)，与所述纳米颗粒源(1)、所述气流控制器(2)、所述纳米颗粒聚焦器件(4)及所述微纳器件成型载物台(6)分别连接并对其进行控制和调节。