半导体机台的机台警报信息的处理方法及装置

摘要

本发明公开了一种半导体机台的机台警报信息的处理方法及装置。其中，该方法包括：获取半导体机台的机台警报信息；获取预先设置的对机台警报信息的分级规则；按照分级规则，确定机台警报信息的权重级别；对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签；从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则；按照分发规则，对机台警报信息进行发送。本发明解决了现有技术中通过人工对半导体机台警报信息进行分发，导致的对警报信息的处理不及时、处理过程无记录的问题。

主权项

一种半导体机台的机台警报信息的处理方法，其特征在于，包括：获取所述半导体机台的机台警报信息；获取预先设置的对所述机台警报信息的分级规则；按照所述分级规则，确定所述机台警报信息的权重级别；对所述机台警报信息进行分析处理，确定与所述机台警报信息对应的类型标签；从预先设置的规则数据库中获取与所述类型标签和所述权重级别对应的分发规则；按照所述分发规则，对所述机台警报信息进行发送。