一种用于无尘室的循环过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种用于无尘室的循环过滤装置，在无尘室内设有过滤装置，过滤装置把无尘室的腔体分割成第一腔室和第二腔室，第一腔室通过第一管道连接气源，在第一管道上设有第一过滤器，第二腔室连接第二管道，在第二管道上链接第二过滤器，第二管道还与所述第一管道连通，气源还通过第三管道连接过滤装置，在第三管道上连接第一阀门，过滤装置还连接第四管道，在第四管道上连接第二阀门。本实用新型的优点：本实用新型与现有技术相比简化了结构和降低了成本，给无尘室提供了一个高洁净度的无尘空间，其洁净度满足ISO1级的技术要求。

主权项

一种用于无尘室的循环过滤装置，包括无尘室(1)，其特征在于：在无尘室(1)内设有过滤装置(7)，过滤装置(7)把无尘室(1)的腔体分割成第一腔室(1.1)和第二腔室(1.2)，第一腔室(1.1)通过第一管道(3)连接气源(2)，在第一管道(3)上设有第一过滤器(4)，第二腔室(1.2)连接第二管道(6)，在第二管道(6)上链接第二过滤器(8)，第二管道(6)还与所述第一管道(3)连通，气源(2)还通过第三管道(9)连接过滤装置(7)，在第三管道(9)上连接第一阀门(10)，过滤装置(7)还连接第四管道(11)，在第四管道(11)上连接第二阀门(12)。