镀膜用废气引射设备

摘要

本实用新型涉及镀膜用废气引射设备，包括：第一级引射装置、第二级引射装置、第三级引射装置和废气处理装置；所述第一级引射装置的纵向位置高于第二级引射装置的纵向位置，所述第二级引射装置的横向位置与第三级引射装置的横向位置错开，第一级引射装置的废气进入管安装于镀膜用的反应器的废气排出口附近，第二级引射装置及第三级引射装置安装于锡槽的下部空间，本实用新型镀膜用废气引射设备，采用三级引射，并节省出上部空间，废气首先被竖向向下或斜向向下引射，再被横向或斜向经各级引射，布局合理，引射效率高。

主权项

镀膜用废气引射设备，其特征在于，包括：第一级引射装置（1）、第二级引射装置（2）、第三级引射装置（3）和废气处理装置（4）；所述第一级引射装置（1）的纵向位置高于第二级引射装置（2）的纵向位置，所述第二级引射装置（2）的横向位置与第三级引射装置（3）的横向位置错开；所述第一级引射装置设有第一引射管（101）、废气进入管（102）和第一混合气出气管（103），所述第一引射管（101）的端头开口设置于废气进入管（102）内，开口方向指向第一混合气出气管的气流方向；所述第二级引射装置设有第一混合气进气管（202）、第二引射管（201）和第二混合气出气管（203），所述第二引射管（201）的端头开口方向指向第二混合气出气管的气流方向；所述第三级引射装置设有第二混合气进气管（302）、第三引射管（301）和第三混合气出气管（303），所述第三引射管（301）的端头开口方向指向第三混合气出气管的气流方向；所述第一混合气出气管（103）连通第一混合气进气管（202），所述第二混合气出气管（203）连通第二混合气进气管（302），所述第三混合气出气管（303）连通废气处理装置（4）的进气管，所述废气处理装置的出气管连接有排气管（6）；所述第一引射管（101）、第二引射管（201）及第三引射管（301）的另一端均连接有气源。