发明名称 |
溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法 |
摘要 |
溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级,再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性,接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀,再经超声振动使其充分分散,后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5-12.5,该发明制备的抛光液具有良好的悬浮分散性,可应用于无水环境下,铝合金、铜、不锈钢和蓝宝石衬底抛光,具有抛光效率高,表面粗糙度小,对基片表面损伤小等优点。 |
申请公布号 |
CN106147616A |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201510223481.7 |
申请日期 |
2015.04.28 |
申请人 |
天津西美半导体材料有限公司 |
发明人 |
高如山 |
分类号 |
C09G1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C09G1/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级,再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性,接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀,再经超声振动使其充分接触,后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5‑12.5。 |
地址 |
300384 天津市华苑产业区海泰发展六道6号海泰绿色产业基地G座401室-04-24 |