发明名称 溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法
摘要 溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级,再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性,接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀,再经超声振动使其充分分散,后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5-12.5,该发明制备的抛光液具有良好的悬浮分散性,可应用于无水环境下,铝合金、铜、不锈钢和蓝宝石衬底抛光,具有抛光效率高,表面粗糙度小,对基片表面损伤小等优点。
申请公布号 CN106147616A 申请公布日期 2016.11.23
申请号 CN201510223481.7 申请日期 2015.04.28
申请人 天津西美半导体材料有限公司 发明人 高如山
分类号 C09G1/02(2006.01)I 主分类号 C09G1/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级,再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性,接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀,再经超声振动使其充分接触,后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5‑12.5。
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