一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法

摘要

本发明提供了一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法，所述方法设置了两个物光对向、共轴的白光干涉光路，位移台带动厚度标样或薄膜样品沿物光光轴方向步进运动，同时，两个面阵探测器采集厚度标样或薄膜样品表面的形貌信息，通过厚度标样标定两个干涉物镜的干涉焦面间的距离，进而计算薄膜样品厚度分布，应用本方法制成的测量装置，无需辅助夹具，可实现非透明薄膜厚度分布的快速、无损和精确测量。

主权项

一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置，其特征在于，包括干涉光路机构Ⅰ、干涉光路机构Ⅱ、样品支架(1)、位移台(5)、计算机(17)、图像采集卡(18)和位移台控制器(19)；所述的位移台(5)上固定有样品支架(1)，样品支架(1)上放置有厚度标样(2)和薄膜样品(6)，位移台控制器(19)控制位移台(5)移动；干涉光路机构Ⅰ包括点光源Ⅰ(7)，点光源Ⅰ(7)发射的光线入射至透镜Ⅰ(8)和分光镜Ⅰ(9)，在分光镜(9)反射，反射光入射至干涉物镜Ⅰ(10)，在干涉物镜Ⅰ(10)中分束为物光和参考光，物光照射到样品表面并反射成样品反射光，参考光入射至干涉物镜Ⅰ(10)中的参考镜并反射成参考反射光，样品反射光和参考反射光在干涉物镜Ⅰ(10)中形成携带样品表面信息的干涉光，干涉光进入分光镜(9)透射至聚光镜Ⅰ(11)并聚焦至面阵探测器Ⅰ(3)形成干涉图像，干涉图像通过图像采集卡(18)传输至计算机(17)；干涉光路机构Ⅱ与干涉光路机构Ⅰ的结构相同，对称分布，物光光轴同轴。