一种机台制程参数偏移的管控系统及方法

摘要

本发明提供一种机台制程参数偏移的管控系统及方法，包括提供制程参数的生产数据监控模块；提供机台维护周期的机台维护管理模块；将制程参数按维护周期分段的制程参数分段模块；根据分段的制程参数数据得到制程参数的数据特征的数据特征产生模块；根据当前维护周期内多个数据及制程参数的数据特征得到当前维护周期内的可信区间的可信区间产生模块。本发明对具有维护周期偏移特性的制程参数按维护周期分段，经程序化计算后得到该参数的数据特征，并根据当前维护周期内的少量数据得到该维护周期内的可信区间，通过对不同维护周期内的可信区间的分别设定，避免制程参数的可信区间设定不当导致的生产和管理问题，大大提高半导体生产中的质量。

主权项

一种机台制程参数偏移的管控系统，其特征在于，所述机台制程参数偏移的管控系统至少包括：生产数据监控模块，用于对机台生产过程中的制程参数进行监控，并对超出所述制程参数可信区间的数据进行报警；机台维护管理模块，用于提供所述机台的维护周期信息；制程参数分段模块，连接于所述生产数据监控模块及所述机台维护管理模块，用于将具有偏移特性的制程参数按所述维护周期分段；数据特征产生模块，连接于所述制程参数分段模块，用于根据所述制程参数分段模块输出的若干段按所述维护周期分段的制程参数数据得到所述制程参数的数据特征；可信区间产生模块，连接于所述生产数据监控模块及所述数据特征产生模块，从所述生产数据监控模块获取当前维护周期内初期的多个制程参数数据，结合所述制程参数的数据特征得到当前维护周期内的可信区间，并将当前维护周期内的可信区间输出给所述生产数据监控模块，以及时调整所述生产数据监控模块中的所述可信区间。