多辊单室双面卷绕镀膜设备

摘要

本实用新型公开一种多辊单室双面卷绕镀膜设备，包括真空室、卷绕机构和镀膜机构，真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构，真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区，且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离，水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔，卷绕机构位于卷绕区内，镀膜机构位于镀膜区内。其方法是放卷辊放出的卷材穿过水冷隔板后进入镀膜区，在镀膜区内经过多组磁控靶逐渐进行双面镀膜，最后穿过水冷隔板进入卷绕区中由收卷辊进行收集。本实用新型通过在单一的真空室中设置卷绕机构和镀膜机构，并通过设置多组磁控靶和水冷辊实现卷材的双面镀膜，简化柔性基材双面镀膜的工艺，有效提高镀膜效率，降低产品成本，提高其市场竞争力。

主权项

多辊单室双面卷绕镀膜设备，其特征在于，包括真空室、卷绕机构和镀膜机构，真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构，真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区，且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离，水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔，卷绕机构位于卷绕区内，镀膜机构位于镀膜区内。