载具

摘要

本发明提供一种载具，适于在镀膜制程中固定基板。载具包括载板以及上盖。载板适于承载基板。上盖通过固定单元固定于载板上，且基板夹设于上盖与载板之间。上盖具有开口，以暴露出基板的部分区域。由于每结束一道镀膜制程，皆可检视镀膜的结果，也就是可以分段检视镀膜的结果，因此可分段控制良率，从而可改善现有整卷报废的问题。

主权项

一种载具，其特征在于，适于在镀膜制程中固定基板，所述载具包括：载板，适于承载所述基板；以及上盖，通过固定单元固定于所述载板上，且所述基板夹设于所述上盖与所述载板之间，所述上盖具有开口，以暴露出所述基板的部分区域。