发明名称 |
应力传感器阵列及其制备方法和应力分布传感系统及传感方法 |
摘要 |
本发明提供一种应力传感器阵列及其制备方法和应力分布传感系统及传感方法。该应力传感器阵列包括:衬底,所述衬底上包括下电极;位于所述下电极上的纳米线或纳米棒阵列;位于所述纳米线或纳米棒阵列上的有机材料层或有机无机复合材料层,其中,所述纳米线或纳米棒阵列具有压电性质并与所述有机材料层或有机无机复合材料层形成发光pn结;以及与所述有机材料层或有机无机复合材料层电连接的上电极。该应力传感器阵列和应力分布传感系统能够克服现有应力传感器分辨率低、且需要复杂数据采集电路对应力传感器的所得信号进行再处理的缺陷。 |
申请公布号 |
CN106153223A |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201510142305.0 |
申请日期 |
2015.03.27 |
申请人 |
北京纳米能源与系统研究所 |
发明人 |
潘曹峰;王中林;鲍容容;王春枫;董林 |
分类号 |
G01L1/24(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I |
主分类号 |
G01L1/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京润平知识产权代理有限公司 11283 |
代理人 |
孙向民;肖冰滨 |
主权项 |
一种应力传感器阵列,包括:衬底,所述衬底上包括下电极;位于所述下电极上的纳米线或纳米棒阵列;位于所述纳米线或纳米棒阵列上的有机材料层或有机无机复合材料层,其中,所述纳米线或纳米棒阵列具有压电性质并与所述有机材料层或有机无机复合材料层形成发光pn结;以及与所述有机材料层或有机无机复合材料层电连接的上电极。 |
地址 |
100083 北京市海淀区学院路30号天工大厦C座 |