精密气体控制装置及光学制造系统

摘要

本发明公开了一种精密气体控制装置及光学制造系统。该精密气体控制装置包括初级过滤器、蒸发器、冷凝器以及混合室，其中：初效过滤器用于将外部环境的空气进行初级过滤，并将经过初级过滤的气体分别输送到蒸发器和冷凝器；蒸发器用于对经过初级过滤得到的气体进行降温，以得到冷气；冷凝器用于对经过初级过滤得到的气体进行加热，以得到热气；混合室用于按照预设的比例混合冷气和热气。通过上述方式，本发明采用冷、热风混合的方式，能够节省外部冷水机，从而达到节能环保的效果。

主权项

一种精密气体控制装置，其特征在于，所述精密气体控制装置包括初级过滤器、蒸发器、冷凝器以及混合室，其中：所述初效过滤器用于将外部环境的空气进行初级过滤，并将经过初级过滤得到的气体分别输送到所述蒸发器和所述冷凝器；所述蒸发器用于对经过初级过滤得到的气体进行降温，以得到冷气；所述冷凝器用于对经过初级过滤得到的气体进行加热，以得到热气；所述混合室用于按照预设的比例混合所述冷气和热气。