光刻胶前烘方法、装置及光刻设备

摘要

本发明公开了一种光刻胶前烘方法、装置及光刻设备，属于显示技术领域。所述装置包括：加热板和温度调节组件；该加热板包括多个加热单元，该加热板用于通过该多个加热单元对待烘烤基板进行加热；该温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节该加热板中每个加热单元的加热参数，该加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种，因此本发明实施例提供的光刻胶前烘装置能够为待烘烤基板上不同的烘烤区域提供不同的加热温度和加热时长，提高了该光刻胶前烘装置的使用灵活性。本发明用于对光刻胶进行前烘。

主权项

一种光刻胶前烘装置，其特征在于，所述装置包括：加热板和温度调节组件；所述加热板包括多个加热单元，所述加热板用于通过所述多个加热单元对待烘烤基板进行加热；所述温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，所述加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种。