一种柔性背板及其制作方法、柔性显示装置

摘要

本发明提供一种柔性背板的制作方法，包括在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层；在层间绝缘层上同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道；第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿层间绝缘层及栅极绝缘层，多条第一断线沟道均未与源/漏过孔连通；形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同；在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层；在钝化层上形成部分像素阳极过孔；在第二无机层上形成有机发光层和封装层，形成柔性显示装置。本发明降低了柔性背板裂纹产生和拓展的风险，提高了柔性效果和使用寿命。

主权项

一种柔性背板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层；其中，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层；在所述层间绝缘层上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道；所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层，所述多条第一断线沟道均未与所述源/漏过孔连通；形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同；在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层；其中，所述钝化层为第二无机层；在所述钝化层上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔；在所述第二无机层上形成有机发光层和封装层，从而形成柔性显示装置。