发明名称 检测元件、锁定检测装置、基板及检测元件的制造方法
摘要 本发明涉及一种检测元件,具备:多个光电转换元件,输出与入射光相应的电信号;及多个滤波电路,与多个光电转换元件分别对应地设置,或者与分别包含多个光电转换元件中的规定个数的光电转换元件的多个元件组分别对应地设置,从由多个光电转换元件输出的电信号中,使具有规定频率的信号衰减。在上述检测元件中,多个光电转换元件可以设于第一基板,多个滤波电路可以设于层叠于第一基板的第二基板。
申请公布号 CN106134182A 申请公布日期 2016.11.16
申请号 CN201580018291.X 申请日期 2015.03.31
申请人 株式会社尼康 发明人 猿渡修;青木滋;冈本和也;菅谷功;冈田政志;大木裕史
分类号 H04N5/369(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I;H01L31/10(2006.01)I;H04N5/357(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I;H01L25/18(2006.01)I 主分类号 H04N5/369(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 高培培;车文
主权项 一种检测元件,具备:多个光电转换元件,输出与入射光相应的电信号;及多个滤波电路,与所述多个光电转换元件分别对应地设置,或者与分别包含所述多个光电转换元件中的规定个数的所述光电转换元件的多个元件组分别对应地设置,从由所述多个光电转换元件输出的所述电信号中,使具有规定频率的信号衰减。
地址 日本东京