一种升华泵冷却装置

摘要

本实用新型公开一种升华泵冷却装置，所述冷却装置位于所述升华泵的壳体内部，所述冷却装置包括冷却管道、导入装置和导出装置，所述冷却管道为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华泵泵芯，且与泵芯之间有一定距离，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置。本实用新型以一种简单可行的方式为升华泵提供低温冷却装置，加快新鲜钛膜吸附速度从而加快抽真空的速度。与此同时维持升华泵泵体低温还可以促进升华泵表面吸附更多分子从而在实验过程中暂时性创造出相比于常温条件下更低的真空度。

主权项

一种升华泵冷却装置，其特征在于，所述冷却装置位于所述升华泵的壳体内部，所述冷却装置包括冷却管道、导入装置和导出装置，所述冷却管道为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华泵泵芯，且与泵芯之间有一定距离，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置。