发明名称 |
THERMAL SPRAY MATERIAL THERMAL SPRAY COATING AND THERMAL SPRAY COATED ARTICLE |
摘要 |
내플라즈마 침식성에 추가해서, 기공률이나 경도 등의 특성이 우수한 용사 피막을 형성할 수 있는 용사용 재료를 제공한다. 여기에 개시되는 기술에 의하면, 용사용 재료가 제공된다. 이러한 용사용 재료는, 구성 원소로서 희토류 원소(RE), 산소(O) 및 할로겐 원소(X)를 포함하는 희토류 원소 옥시할로겐화물(RE-O-X)을 포함한다. 그리고 이 희토류 원소 옥시할로겐화물에 있어서의, 희토류 원소에 대한 할로겐 원소의 몰비(X/RE)가 1.1 이상인 것에 의해 특징지어진다. |
申请公布号 |
KR20160131918(A) |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
KR20160054487 |
申请日期 |
2016.05.03 |
申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED;FUJIMI INCORPORATED |
发明人 |
NAGAYAMA NOBUYUKI;IBE HIROYUKI;TSUZUKI KAZUYUKI |
分类号 |
C04B35/515;C04B35/50;H01L21/3065 |
主分类号 |
C04B35/515 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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