发明名称 |
METHOD FOR ANTI-REFLECTION COATING OF SOLAR CELL |
摘要 |
본 발명에 따른 태양전지의 비반사막 제조방법은 (a) 준비된 기판에 ZnS 및 Al을 증착하여 씨드 층(Seed layer)을 형성하는 단계; (b) 씨드 층 표면을 표면처리 하는 단계; (c) ZnS와 Al층이 증착된 씨드 층 표면에 산화아연으로 이루어진 나노시트를 형성하는 단계; 및 (d) 씨드 층 표면 상부에 형성된 산화아연 나노시트에 MgF를 증착하는 단계;를 포함하여, 산화아연 Seed 층 없이 ZnO 나노시트를 성장할 수 있는 효과가 있고, 산화아연 나노시트에 MgF를 증착하여 태양전지의 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다. |
申请公布号 |
KR20160131591(A) |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
KR20150064372 |
申请日期 |
2015.05.08 |
申请人 |
UNIST(ULSAN NATIONAL INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY);KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY |
发明人 |
BAIK, JEONG MIN;LEE, KI SUK;LEE, HYE JIN;CHOI, WON JUN;KIM, SANG HYEON |
分类号 |
H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/0256;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L31/0216 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|