| 发明名称 |
RECYCLING METHOD OF A SPUTTERING TARGET |
| 摘要 |
본 발명은 스퍼터링 타겟의 재활용 방법에 관한 것으로, 상기 재활용 방법은 (a) 폐타겟에서 소모 부위가 존재하는 소결체를 분리하는 단계; (b) 상기 소결체의 소모 부위에 소결 온도에서 액상화되는 금속 분말을 충진하는 단계; (c) 상기 금속 분말이 충진된 소결체를 소결하여 상기 금속 분말을 액상화시키는 단계; 및 (d) 상기 액상화된 금속 분말을 냉각시켜 금속층을 형성하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160131241(A) |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
| 申请号 |
KR20150063153 |
申请日期 |
2015.05.06 |
| 申请人 |
HEE SUNG METAL LTD. |
发明人 |
HWANG, BYUNG JIN;KANG, MIN HO;YANG, SEUNG HO;YOON, WON KYU |
| 分类号 |
C23C14/34;C22B7/00;H01L21/02 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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