| 发明名称 | 研磨装置的构成部件用的罩、研磨装置的构成部件以及研磨装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种研磨液难以固结的罩。用于研磨基板的研磨装置的构成部件用的罩具备卡止机构，该卡止机构用于卡止构成部件的主体与罩，且设置于罩的内部。露出到外部的罩的外表面不具有凹部，除罩的顶部外，露出到外部的罩的外表面不具有水平面。 | ||
| 申请公布号 | CN106132633A | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201580000586.4 | 申请日期 | 2015.03.27 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 新海健史;曾根忠一;相泽英夫;青野弘 |
| 分类号 | B24B55/06(2006.01)I;B23Q11/08(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B55/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;张丽颖 |
| 主权项 | 一种研磨装置的构成部件用的罩，该研磨装置用于研磨基板，其特征在于，具备卡止机构，该卡止机构用于卡止所述构成部件的主体与所述罩，且设置于所述罩的内部，露出到外部的所述罩的外表面不具有凹部，并且除所述罩的顶部外，露出到外部的所述罩的外表面不具有水平面。 | ||
| 地址 | 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||