一种红黄光发光二极管的制作方法

摘要

本发明公开了一种红黄光发光二极管的制作方法，属于半导体器件加工技术领域。所述制作方法包括：在晶元上生长红黄光LED；采用铁环固定在晶元的环状侧壁上；将胶膜贴附在红黄光LED和铁环上，并去除气泡；将晶元放置在陶瓷微孔承载盘上，并将砂轮与晶元没有贴附胶膜的表面相贴；利用陶瓷微孔承载盘带动晶元沿第一方向转动，同时驱动砂轮沿与第一方向相反的第二方向转动，减薄晶元；去除晶元上的胶膜和铁环。本发明不需要加热形成液体蜡、等蜡冷却、去除蜡等工序，使用更为方便，而且可以避免蜡残留的问题。同时可以实现对晶元厚度的控制，厚度均匀、翘曲度小，减小生产过程中裂片损失，提高生产效率。

主权项

一种红黄光发光二极管的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：在晶元上生长红黄光LED；采用铁环固定在所述晶元的环状侧壁上；将胶膜贴附在所述红黄光LED和所述铁环上，并去除气泡；将所述晶元放置在陶瓷微孔承载盘上，并将砂轮与所述晶元没有贴附所述胶膜的表面相贴；利用陶瓷微孔承载盘带动所述晶元沿第一方向转动，同时驱动所述砂轮沿与所述第一方向相反的第二方向转动，减薄所述晶元；去除所述晶元上的所述胶膜和所述铁环。