一种基于并联柔顺机构的精密测头

摘要

本发明公开了一种基于并联柔顺机构的精密测头，包括圆环状的外壳，外壳的顶部设有上端盖，上端盖的内侧中心吊装一个载物体，外壳的底部连接并联柔顺机构，并联柔顺机构的中心设有测杆，测杆远离动平台的一端端部设有测球；并联柔顺机构的中心处均匀分布三个移动反射镜，载物体的侧壁上均匀分布三个激光干涉仪，载物体在激光干涉仪的下方分别设有固定干涉镜，每个激光干涉仪对准一个固定干涉镜，通过并联柔顺机构代替常见的弹性支承，使测头的结构得到简化，同时大幅度减少了并联柔顺机构与外壳之间的间隙和摩擦，提高了测头的精度。由于并联柔顺机构的结构呈整体化，还有利于实现测头结构的小型化，减小自身重力对测量的影响。

主权项

一种基于并联柔顺机构的精密测头，包括圆环状的外壳(20)，外壳(20)的顶部设有上端盖(19)，上端盖(19)的内侧中心吊装一个载物体(11)，所述载物体(11)位于由外壳(20)围城的腔内，其特征在于：所述外壳(20)的底部连接并联柔顺机构，所述并联柔顺机构包括动平台(2)以及定平台(1)，定平台(1)呈圆环状，且定平台(1)的外圈与外壳(20)底部固定，所述动平台(2)呈等边三角形，且其中心与定平台(1)的圆心重合，动平台(2)与定平台(1)之间通过若干分支杆(3)连接，所述分支杆(3)一端与动平台(2)柔性连接，另一端与定平台(1)柔性连接；所述动平台(2)在远离上端盖(19)的一侧的中心设有测杆(8)，测杆(8)远离动平台(2)的一端端部设有测球(9)；所述动平台(2)的三个顶角处分别设有一个移动反射镜(10)，所述载物体(11)的侧壁上均匀分布三个激光干涉仪(12)，相邻的两个激光干涉仪(12)之间的交角为120°，载物体(11)在激光干涉仪(12)的下方分别设有固定干涉镜(14)，每个激光干涉仪(12)对准一个固定干涉镜(14)，且激光干涉仪(12)与分布在动平台(2)上的移动反射镜(10)一一对应。