| 发明名称 | 倾斜式石英舟托 | ||
| 摘要 | 本发明涉及扩散炉管内的石英舟承载器件，尤其是一种倾斜式石英舟托，包括载托体，所述载托体上设置有凸起，当石英舟放置在该载托体上时，石英舟的一端位于载托体上，另一端位于凸起上，石英舟与水平面倾斜，石英舟上的硅片在重力作用下，均朝向远离凸起的一端倾斜，硅片之间始终保持一个均匀的间隔距离，不会两片挨在一起，达到均匀扩散的效果，本发明结构简单，成本低，增设凸起后，硅片的工艺数据提升明显。 | ||
| 申请公布号 | CN106128984A | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201610686389.9 | 申请日期 | 2016.08.17 |
| 申请人 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 发明人 | 吴俊;邹海军;吴佳俊;王少华;吴家宏;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人 | 郑云 |
| 主权项 | 一种倾斜式石英舟托，用于承载石英舟(3)，其特征在于：包括载托体(1)，所述载托体(1)上设置有凸起(2)。 | ||
| 地址 | 213213 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号 | ||