电子发射冷阴极器件

摘要

本发明涉及一种器件，其包括：阴极，该阴极位于阴极平面上并且在有源区中包括具有平行于第一参考方向的主延伸方向的一个或多个阴极直指状端子；对于每个阴极端子而言，一个或多个电子发射器形成在所述阴极端子上并且与之欧姆接触；以及栅电极，该栅电极位于平行于所述阴极平面并与所述阴极平面间隔开的栅极平面上，栅电极不与阴极重叠，并且栅电极在有源区中包括具有平行于第一参考方向的主延伸方向的两个或更多个栅极直指状端子；其中，栅极端子与所述阴极端子交错。

主权项

一种电子发射冷阴极器件(11,21)，包括阴电极(14)，所述阴电极(14)位于阴极平面上并且所述阴电极(14)·在有源区(11a)中包括阴极指状结构(14a)，所述阴极指状结构(14a)包括一个或多个阴极直指状端子(14b)，每个所述阴极直指状端子(14b)具有平行于第一参考方向(z)的相应主延伸方向；并且所述阴电极(14)还包括·阴极导线(14e)，所述阴极导线(14e)连接至所述阴极指状结构(14a)、并且具有主延伸方向平行于所述第一参考方向(z)的直带状形状；并且所述阴电极(14)还包括·阴极主干线(14d)，所述阴极主干线(14d)：‑具有主延伸方向平行于第二参考方向(x)的直带状形状，所述第二参考方向(x)与所述第一参考方向(z)正交；并且‑被插入在所述阴极指状结构(14a)与所述阴极导线(14e)之间，从而将所述阴极导线(14e)连接至所述阴极指状结构(14a)；其中，所述阴极指状结构(14a)、所述阴极导线(14e)和阴极主干线(14d)相对于平行于所述第一参考方向(z)的对称轴线是对称的；所述器件(11,21)进一步包括针对每个阴极直指状端子(14b)的一个或多个相应电子发射器(14c)，所述电子发射器(14c)形成在所述阴极直指状端子(14b)上并且与所述阴极直指状端子(14b)欧姆接触；其中，每个电子发射器(14c)具有垂直于所述阴极平面的相应主延伸方向；所述器件(11,21)进一步包括栅电极(15)，所述栅电极(15)位于平行于所述阴极平面并且与所述阴极平面间隔开的栅极平面上，所述栅电极(15)不与所述阴电极(14)重叠并且所述栅电极(15)·在所述有源区(11a)中包括栅极指状结构(15a)，所述栅极指状结构(15a)包括两个或更多个栅极直指状端子(15b)，每个所述栅极直指状端子(15b)具有平行于所述第一参考方向(z)的相应主延伸方向；其中，所述栅极直指状端子(15b)与所述阴极直指状端子(14b)交错并且被设计为在使用中调制由所述电子发射器(14c)发射的电子束；并且所述栅电极(15)还包括·栅极导线(15d)，所述栅极导线(15d)连接至所述栅极指状结构(15a)、具有主延伸方向平行于所述第一参考方向(z)的直带状形状；并且所述栅电极(15)还包括·栅极主干线(15c)，所述栅极主干线(15c)‑具有主延伸方向平行于所述第二参考方向(x)的直带状形状；并且‑被插入在所述栅极指状结构(15a)与所述栅极导线(15d)之间，从而将所述栅极导线(15d)连接至所述栅极指状结构(15a)并且其中，所述栅极指状结构(15a)、所述栅极导线(15d)和所述栅极主干线(15c)相对于所述对称轴线是对称的。