ROBOT FOR CARRYING WAFER CARRIER AT CEILING

摘要

본 발명은, 바디; 웨이퍼 캐리어를 파지하도록 구성되는 파지 유닛; 및 상기 바디와 상기 파지 유닛 각각에 연결되어, 상기 바디의 양 측방으로 상기 파지 유닛을 전개하도록 구성된 양방향 슬라이딩 유닛을 포함하는, 웨이퍼 캐리어 반송 로봇을 제공한다.