| 发明名称 | 用于有机材料的蒸发源 | ||
| 摘要 | 描述一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩埚被配置成蒸发所述有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿所述分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中所述分配管道与所述蒸发坩锅流体连通，并且其中所述分配管道具有垂直于所述分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括：出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中所述横截面的所述出口侧的宽度是所述横截面的最大尺寸的30％或更小。 | ||
| 申请公布号 | CN106133183A | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201480077377.5 | 申请日期 | 2014.03.21 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | S·邦格特;J·M·迭戈兹-坎波;U·舒斯勒;A·鲁普 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 何焜 |
| 主权项 | 一种用于有机材料的蒸发源，所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅被配置成蒸发所述有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿所述分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中所述分配管道与所述蒸发坩锅流体连通，并且其中所述分配管道具有垂直于所述分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中所述横截面的所述出口侧的宽度是所述横截面的最大尺寸的30％或更小。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||