一种离子束加工工件的误差补偿方法

摘要

本发明涉及一种离子束加工工件的误差补偿方法。误差补偿方法包括以下步骤；1）测量获取加工工件样本的第一面形数据；2）将加工工件样本进行离子束加工；3）对加工后的加工工件样本进行测量，获取第二面形数据；4）计算获得面形去除数据，将面形去除数据与离子束的扫描时间进行数学关系拟合获得去除误差关系函数；5）对加工工件测量获取加工面形数据；6）规划离子束在扫描轨迹中的驻留时间数据；7）利用去除误差关系函数对加工工件的驻留时间补偿修正。本发明有效提高了离子束加工的精度；同时无需在实际加工过程中对加工工件中的扫描轨迹点的温度进行检测，方法更加简单、经济和有效。

主权项

一种离子束加工工件的误差补偿方法，其特征在于：包括以下步骤；1）选取加工工件样本，测量加工工件样本的面形图，获取加工工件样本的第一面形数据；2）将加工工件样本在离子束加工设备中加工；3）对加工后的加工工件样本进行测量，获取加工后的加工工件样本的第二面形数据；4）将第二面形数据与第一面形数据相减获得面形去除数据，将面形去除数据与离子束的扫描时间进行数学关系拟合获得加工工件样本材料去除量误差与扫描时间的去除误差关系函数；5）对加工工件进行测量获取加工工件的加工面形数据；6）根据加工面形数据计算规划离子束在扫描轨迹中的驻留时间数据；7）通过去除量误差关系函数对加工工件的驻留时间补偿修正获得补偿后的加工驻留时间修正数据；8）将加工驻留时间修正数据导入离子束加工设备中进行加工工件的加工处理。