发明名称 |
刀具金刚石涂层制备装置 |
摘要 |
本申请公开了一种刀具金刚石涂层制备装置,包括罩体,该罩体具有一反应腔,所述反应腔内设置有支撑台,所述支撑台上方设置有螺旋形热丝,该螺旋形热丝的轴向位于竖直方向,刀具支撑于所述支撑台上并位于所述螺旋形热丝围成的空间内,所述支撑台可沿轴向转动,所述螺旋形热丝分别与热丝电源和直流偏压电源连接。本发明采用螺旋形热丝,能够保证刀具受热均匀,使得刀具基体表面与热丝之间的距离相等,使得分布在基体周围的碳离子图案以及氢离子团更加均匀和致密性,有利于增加形核密度。 |
申请公布号 |
CN106119808A |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
CN201610716383.1 |
申请日期 |
2016.08.24 |
申请人 |
张家港合升进出口有限公司 |
发明人 |
惠勇;许燕;惠小桃 |
分类号 |
C23C16/27(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/27(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所(普通合伙) 32211 |
代理人 |
陆华君 |
主权项 |
一种刀具金刚石涂层制备装置,其特征在于,包括罩体,该罩体具有一反应腔,所述反应腔内设置有支撑台,所述支撑台上方设置有螺旋形热丝,该螺旋形热丝的轴向位于竖直方向,刀具支撑于所述支撑台上并位于所述螺旋形热丝围成的空间内,所述支撑台可沿轴向转动,所述螺旋形热丝分别与热丝电源和直流偏压电源连接。 |
地址 |
215618 江苏省苏州市张家港市杨舍镇棋杆村中心路张家港合升进出口有限公司 |