带电粒子束装置以及试样观察方法

摘要

本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。

主权项

一种带电粒子束装置，具备将一次带电粒子束照射在试样上的带电粒子光学镜筒以及真空泵，其特征在于，具备：第一框体，构成所述带电粒子束装置的一部分，且内部被所述真空泵真空排气；第二框体，将位置固定于所述第一框体的侧面、或者内壁面、或者所述带电粒子光学镜筒且将所述试样储存于内部，能够装卸的隔膜，以载置有所述试样的空间的压力保持为比所述第一框体内部的压力大的方式对载置有所述试样的空间进行隔离，并使所述一次带电粒子束透过或者通过；以及导入导出部，从所述试样的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体，在所述试样与所述隔膜为非接触的状态下，将所述一次带电粒子束照射至所述试样，所述隔膜设置于所述第二框体的上表面一侧。