具有电容联接源电极的压力转换器

摘要

根据本发明的实施例的电容压力转换器的耦合基底(120)上的两个电极与隔膜电极，以形成转换电路而无需电极之间的物理连接。本发明的实施例具有基底(120)和附连的隔膜(110)，所述基底具有耦合电极(221)和传感电极，所述隔膜具有隔膜电极。位于基底和隔膜之间的间隔器(130)提供限定传感电极和隔膜电极(241)之间的间隙的腔。介电间隔器可以位于耦合电极之上以增加耦合电极(221)和隔膜电极(241)之间的电容。电容压力转换器具有与现存的电容压力转换器相似的电学特性，更容易制造，并且具有通过消除机械互连和额外的导电材料带来的长期可靠性和耐久性提高。

主权项

一种电容压力转换器，包括：基底，该基底上具有耦合电极和传感电极；隔膜，该隔膜上具有隔膜电极；间隔器，该间隔器位于所述基底与所述隔膜之间，所述间隔器提供包括所述耦合电极与所述隔膜电极之间以及所述传感电极与所述隔膜电极之间的间隙的腔，所述耦合电极和所述隔膜电极限定耦合电容，并且所述传感电极和所述隔膜电极限定传感电容，其中隔膜上的压力变化引起传感电容中相应的变化。