| 发明名称 | 新聚合物和光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 新聚合物和光致抗蚀剂组合物。提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：树脂，所述树脂具有(ⅰ)一个或多个共价连接于树脂上的光酸产生剂基团，和(ⅱ)一个或多个光酸不稳定基团，其中一个或多个光酸产生剂部分为一个或多个光酸不稳定基团的成分。本发明优选的聚合物适用于在短波长，如200nm以下，特别是193nm成像的光致抗蚀剂。 | ||
| 申请公布号 | CN106125506A | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201610596762.1 | 申请日期 | 2011.03.31 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | E·阿恰达;刘骢;C-B·徐 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;C08F220/38(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/32(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：树脂，所述树脂具有(ⅰ)一个或多个共价连接于树脂上的光酸产生剂基团，和(ⅱ)一个或多个光酸不稳定基团，其中一个或多个光酸产生剂部分为一个或多个光酸不稳定基团的成分。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||