一种气浮真空吸附搬送装置

摘要

本发明涉及一种气浮真空吸附搬送装置，该装置包括：下工作平台、上搬送工作平台、四柱台板间隙限位机构、气浮真空吸附交换搬送气动控制系统；下工作平台为工艺制程设备的工作平台，配置运动结构、工艺制程功能机构以及相关机架组成工艺制程设备；上搬送平台为工艺制程设备上下料搬送设备的搬送工作平台，配置相关运动结构组成自动搬送移载设备；四柱台板间隙限位机构与下工作平台和上搬送平台连接；气浮真空吸附交换搬送气动控制系统与下工作平台和上搬送平台连接。本发明使超薄玻璃基板类工件、超薄柔性显示基板工艺制程上下料搬送中工件无变形，大幅度提高了良品率，从而能够实现大规模、自动化生产线制造。

主权项

一种气浮真空吸附搬送装置，其特征在于，该装置包括：下工作平台、上搬送工作平台、四柱台板间隙限位机构、气浮真空吸附交换搬送气动控制系统；所述下工作平台为工艺制程设备的工作平台，配置运动结构、工艺制程功能机构以及相关机架组成工艺制程设备；所述上搬送平台为工艺制程设备上下料搬送设备的搬送工作平台，配置相关运动结构组成自动搬送移载设备，以将工艺制程设备的工作平台的工件真空吸附下料，并搬送到下一工序的工艺制程设备的工作平台上料；所述四柱台板间隙限位机构与所述下工作平台和所述上搬送平台连接，以使所述四柱台板间隙限位机构调节所述下工作平台和所述上搬送平台之间的平行间隙；所述气浮真空吸附交换搬送气动控制系统与所述下工作平台和所述上搬送平台连接，以使所述气浮真空吸附交换搬送气动控制系统控制所述下工作平台和所述上搬送平台配合工作。