用于长晶的扩宽式加热装置

摘要

一种用于长晶的扩宽式加热装置，是连接于一固定在一长晶炉的一上炉壁的一顶壁部的电极组件，上炉壁自该顶壁部的一周缘围绕该长晶炉的一中心轴线朝下延伸有一围壁部。扩宽式加热装置包括一组悬吊板、N个侧加热板及N个连接板。各悬吊板具有一电连接电极组件的第一固定部、一朝下延伸的第二固定部及连接该第一固定部与该第二固定部的连接部。部分侧加热板连接于所述第二固定部，所述侧加热板分别具有反向延伸的两端缘，且是彼此依序间隔邻接。各连接板具有一连接部及两自其连接板的连接部朝两相邻侧加热板端缘延伸且固定于与其对应的两相邻侧加热板端缘的固定部。各侧加热板自其内表面及外表面至中心轴线的内距及至围壁部的内表面的外距各为D_i及D_o，

主权项

一种用于长晶的扩宽式加热装置，是连接于一长晶炉的一电极组件以围绕一内隔热单元，该电极组件是贯穿设置在该长晶炉内的一外隔热单元以固定于该长晶炉的一上炉壁的一顶壁部，该上炉壁自该顶壁部的一周缘围绕该长晶炉的一中心轴线朝下延伸有一围壁部，其特征在于：该扩宽式加热装置包含：一组悬吊板，各悬吊板具有一连接于该电极组件以与该电极组件电连接的第一固定部、一朝下延伸的第二固定部，及一连接该第一固定部与该第二固定部的连接部；N个侧加热板，一部分连接于各悬吊板的第二固定部，且各侧加热板具有反向延伸的两端缘，所述侧加热板是彼此依序间隔邻接以共同界定出一供容置该内隔热单元的空间；及N个连接板，各具有一连接部及两自其连接部朝该两相邻的侧加热板的端缘延伸的固定部，各连接板的固定部是固定于与其对应的该两相邻的侧加热板的端缘；其中，各侧加热板自其一内表面至该中心轴线界定出一内距(D_i)，并自其一外表面至该围壁部的一内表面界定出一外距(D_o)，且