一种高纯硅烷灌装设备

摘要

本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括灌装座体，所述灌装座体底部设置有配量瓶传送机构；所述灌装座体于配量瓶传送机构上方设置有多个升降机构；所述升降机构顶部安装有六通电磁阀；所述六通电磁阀其四端通过随动管分别安装一长嘴灌装阀；所述长嘴灌装阀固定于升降机构上；所述六通电磁阀其剩余两端分别接进气管和出气管；所述进气管连接到纯化装置输出端；所述出气管连接到纯化装置输入端；所述进气管上依次设置有第一进气阀、计量腔和第二进气阀。本实用新型的高纯硅烷灌装设备，其在灌装前及单个长嘴灌装阀完成灌装后，能够进行抽真空处理，灌装前通过计量腔完成灌装前定量检测，保证灌装精度，灌装时通过多个长嘴灌装阀循环灌装。

主权项

一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：包括灌装座体，所述灌装座体底部设置有配量瓶传送机构；所述灌装座体于配量瓶传送机构上方设置有多个升降机构；所述升降机构顶部安装有六通电磁阀；所述六通电磁阀其四端通过随动管分别安装一长嘴灌装阀；所述长嘴灌装阀固定于升降机构上；所述六通电磁阀其剩余两端分别接进气管和出气管；所述进气管连接到纯化装置输出端；所述出气管连接到纯化装置输入端；所述进气管上依次设置有第一进气阀、计量腔和第二进气阀；所述出气管上安装有出气阀。