一种用于太赫兹无损检测的扫描台及扫描成像装置

摘要

本实用新型公开了一种用于太赫兹无损检测的扫描台及扫描成像装置，该扫描台包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头。

主权项

一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，所述第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；所述第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，所述Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，所述第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；所述第二滑块安装有用于固定测试样品的夹具；所述X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头；第一读数头读取与第一光栅尺平行的X轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算X轴上扫描点位置信息；第二读数头读取与第二光栅尺平行的Y轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算Y轴上扫描点位置信息。