Robot Control System and Method for Fabrication Equipment of Semiconductor Apparatus Computer Program Therefor

摘要

본 기술의 일 실시예에 의한 로봇 제어 시스템은 모터를 통해 이송장치를 목적하는 위치 및 방향으로 이동시키는 로봇 제어 시스템으로서, 모터의 동작상태를 검출하여 피드백 신호를 생성하는 감지부 및 이송장치의 수직 위치에 대한 티칭값 보정 모드에서, 피드백 신호에 기초하여 이송장치에 대한 기판의 접촉 여부를 판단하고, 기판에 접촉된 위치의 이송장치의 높이 측정값에 따라 티칭값을 보정하는 컨트롤러를 포함하도록 구성될 수 있다.