Ｍｎ−Ｚｎ−Ｗ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法

摘要

【課題】ＤＣスパッタリングに供することができるＭｎ−Ｚｎ−Ｗ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のＭｎ−Ｚｎ−Ｗ−Ｏ系スパッタリングターゲットは、Ｍｎと、Ｚｎと、Ｗと、Ｏとを成分組成に含み、ＺｎＯと、構成元素にＷを含む複合酸化物とを含む混合相に、Ｗ粒子が分散していることを特徴とする。【選択図】図３