| 摘要 |
리소그래피 방법은: 리소그래피 장치의 위상 조정기를 제어하는 단계 - 상기 위상 조정기는 상기 위상 조정기의 광학 요소를 가로지르는 방사선 빔의 전기장의 위상을 조정하도록 구성되고 배치됨 - ; 및 상기 광학 요소의 일부분의 실제 시간-온도 특성을 유도하는 상기 위상 조정기에 제공된 신호를 제어하는 단계를 포함하고, 상기 광학 신호의 일부분의 원하는 시간-온도 특성을 참조하여 제어가 수행되며, 상기 신호의 제어는 실제 시간-온도 특성의 변화가 원하는 시간-온도 특성의 관련된 변화에 선행하도록 되어 있다. |
