红外探测器像元结构及其制备方法

摘要

本发明提供了一种红外探测器像元结构及其制备方法，通过在硅衬底底部键合键合衬底，利用键合衬底中的红外吸收层来吸收部分的红外光，在硅衬底中设置填充有红外敏感气体的密闭空腔，在密闭空腔上键合压电转换结构，当红外敏感气体吸收到红外光发生膨胀时，会挤压压电部件，导致压电转换结构产生的压电信号发生变化，从而实现对红外光的探测。

主权项

一种红外探测器像元结构，其特征在于，包括键合衬底、键合于所述键合衬底上的硅衬底、以及位于硅衬底上的压电转换结构；其中，所述键合衬底中具有红外吸收层；红外吸收层用于吸收红外光；所述硅衬底中包括填充有红外敏感气体的密闭空腔区域；所述压电转换结构位于所述硅衬底的所述密闭空腔区域上方；其中，当红外光进入红外吸收层后，一部分红外光被红外吸收层吸收，一部分红外光透过红外吸收层进入密闭空腔，被密闭空腔内的红外敏感气体吸收掉，密闭空腔内的红外敏感气体吸收了红外光之后产生热量以及红外吸收层吸收了红外光之后产生热量传递给红外敏感气体，使得红外敏感气体产生膨胀并且作用于所述压电转换结构，所述压电转换结构形成的压电信号产生变化，从而实现对红外光的探测。