发明名称 ルーバを含むバックグラウンド低減システム
摘要 A background reduction system may include, but is not limited to: a charged particle source configured to generate a charged-particle beam; a louvered structure including one or more apertures configured to selectively transmit charged particles according to their angle of incidence; and a charged-particle detector configured to receive charged particles selectively transmitted by the louvered structure.
申请公布号 JP6026527(B2) 申请公布日期 2016.11.16
申请号 JP20140518593 申请日期 2012.06.07
申请人 ケーエルエー−テンカー コーポレイション 发明人 ナセル−ゴドスィ メヘラーン;シアーズ クリストファ;ヘインズ ロバート
分类号 H01J37/05;G01N23/225;G21K5/04;H01J37/244 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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