具有多阴极的沉积系统及其制造方法

摘要

一种沉积系统及操作所述沉积系统的方法，所述沉积系统包括：阴极；阴极下方的护罩；阴极下方的旋转屏蔽件，用于经由护罩及经由旋转屏蔽件的屏蔽孔暴露阴极；和旋转基座，用于产生材料以在旋转基座之上形成载体，其中所述材料具有小于材料厚度的1％的非均匀性限制，且所述阴极在阴极与载体之间具有一角度。

主权项

一种操作腔室的方法，所述方法包括以下步骤：调整阴极；旋转所述阴极下方的旋转屏蔽件，以便经由所述阴极下方的护罩及经由所述旋转屏蔽件的屏蔽孔暴露所述阴极；和旋转旋转基座，以便产生一材料以在所述旋转基座之上形成载体，其中所述材料具有小于所述材料的厚度的1％的非均匀性限制且所述阴极在所述阴极与所述载体之间具有一角度。