一种利用四极质谱仪对微量气体中微量杂质快速分析方法

摘要

本发明公开了一种利用四极质谱仪对微量气体中微量杂质快速分析方法，微电流放大和采集电路采用两个相差三个量级阻值的高阻档位，每个档位下设定不同的增益，两个相差三个量级阻值的高阻中，较大阻值的高阻针对微小信号的放大，较小阻值的高阻针对大信号的放大，中间大小的信号可以选择设置不同档位中的增益进行分析。本发明对四极质谱仪电子倍增器输出的离子流，通过计算机控制微电流放大电路中放大器高阻的自动切换实现分段扫描，通过软件实现在不同高阻下采用不同扫描速度，最终可实现快速扫描与痕量灵敏度的兼顾的一种质谱数据处理方法，该方法配合上高精度的四极质谱管就能获取快速扫描下的PPM级甚至更高的痕量灵敏度。

主权项

一种利用四极质谱仪对微量气体中微量杂质快速分析方法，其特征在于：微电流放大和采集电路采用两个相差三个量级阻值的高阻档位，每个档位下设定不同的增益，两个相差三个量级阻值的高阻中，较大阻值的高阻针对微小信号的放大，较小阻值的高阻针对大信号的放大，中间大小的信号可以选择设置不同档位中的增益进行分析，微小信号为PPM级以下杂质，大信号为100PPM级以上杂质。