一种气体喷射真空系统

摘要

本实用新型公开了一种气体喷射真空系统，解决了但是在大型的反应釜当中，仅仅依靠真空泵的抽取很难保证反应釜内部的0.01kPa的高真空要求。其技术方案要点是该气体喷射真空系统具有：至少一个气体进给系统；气体喷射系统，包括依次串联的至少两组气化喷射器；伴随系统，与气体进给系统一同与气化喷射器相连通；冷却系统，包括与每个所述气化喷射器相连的冷却罐，所述冷却罐均与一浸入罐相连通；抽真空系统，与气体喷射系统相连接。达到了实现气体的加速，并通过抽真空系统来实现将气体抽走，从而能保证气体进给系统内部的高真空要求。

主权项

一种气体喷射真空系统，其特征在于，该气体喷射真空系统具有：至少一个气体进给系统；气体喷射系统(4)，包括依次串联的至少两组气化喷射器；伴随系统，与气体进给系统一同与气化喷射器相连通；冷却系统(5)，包括与每个所述气化喷射器相连的冷却罐，所述冷却罐均与一浸入罐(54)相连通；抽真空系统，与气体喷射系统(4)相连接。