摘要 |
본 발명은 진공건조장치, 진공건조장치를 이용한 직렬진공건조공정시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 공정대상물을 진공상태에서 열처리 하는 과정에 있어서 공급하는 열에너지의 전달 방식을 복사방식뿐만 아니라 대류방식까지 추가로 사용하여 공정대상물의 열처리 효율을 일반적인 진공상태에서의 열처리 보다 더욱 효과적으로 열처리하기 위해 열에너지를 공급받은 기체를 열처리과정에 첨가하고, 진공건조장치의 덮개를 열지 않고도 공정대상물의 진공건조공정을 연속적으로 열처리하기 위해 진공건조장치 양 옆에 출입부와 공정로봇이 지면과 수평하게 구성되는 진공건조장치, 진공건조장치를 이용한 직렬진공건조공정시스템에 관한 것이다. |