一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器

摘要

一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，包括基座和工作架，工作架上设置有倒片通道，倒片通道的两侧分别设置有左片盒固定台和右片盒升降台，倒片通道的上方和下方分别通过两组等距位置调节器Ⅱ设置有上挡片和下挡片，以通过两组等距位置调节器Ⅱ调整上挡片和下挡片遮挡倒片通道的位置，进而调节右片盒升降台上片盒内硅片允许通过倒片通道倒入左片盒固定台上片盒内的序号范围。本发明可以将一片盒中内任意序号位置的硅片，错位倒入另一片盒内的任意序号位置，解决了手动倒硅片时产生擦伤、划伤的风险。

主权项

一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，其特征在于：包括基座（1）和工作架（2），工作架（2）一侧面的中部设置有左片盒固定台（3），且左片盒固定台（3）远离工作架（2）的一端通过合页与基座（1）的一侧连接，以使工作架（2）能够相对于基座（1）转动倾斜，左片盒固定台（3）与工作架（2）连接处设置有固定片盒的凸棱Ⅰ（301），在板状件上与左片盒固定台（3）对应的位置开设有方形通孔以形成供硅片通过的倒片通道（4），倒片通道（4）的两侧对称设置有一个等距位置调节器以形成一组等距位置调节器Ⅰ（401），且两个等距位置调节器的下滑块分别与一右片盒升降台（5）的两侧固定，右片盒升降台（5）上设置有固定片盒的凸棱Ⅱ（501），两个等距位置调节器的上推动块分别与推拉杆（502）连接，以通过推拉杆（502）带动等距位置调节器的下滑块滑动，进而调整右片盒升降台（5）的位置；所述工作架（2）上倒片通道（4）的上方和下方分别通过两组等距位置调节器Ⅱ（402）设置有上挡片（201）和下挡片（202），以通过两组等距位置调节器Ⅱ（402）调整上挡片（201）和下挡片（202）遮挡倒片通道（4）的位置，进而调节右片盒升降台（5）上片盒内硅片允许通过倒片通道（4）倒入左片盒固定台（3）上片盒内的序号范围；所述的等距位置调节器Ⅰ（401）和等距位置调节器Ⅱ（402）均为两个对称设置的等距位置调节器构成，等距位置调节器包括具有条状滑槽（6）的底板和滑动设置在滑槽（6）内的调节块，在滑槽（6）的两侧壁对称设置有多个卡口（601），且相邻两个卡口（601）之间的间距等于硅片片盒槽距，所述调节块包括滑动设置在滑槽（6）内的下滑块（7）、锁定弹簧片（8）和上推动块（9），其中，下滑块（7）为一板状件，其两侧的上部和下部分别设置有窄侧棱（701）和宽侧棱（702），且窄侧棱（701）和宽侧棱（702）之间形成卡住滑槽（6）侧壁的滑道（703），下滑块（7）的上表面设置有条状的矩形凹槽（704），矩形凹槽（704）的两侧对称设置有缺口，以使紧贴矩形凹槽（704）内壁设置的锁定弹簧片（8）穿过缺口后形成两个突出于滑道（703）并卡入卡口（601）内的卡头（801）；所述上推动块（9）的底部设置位于矩形凹槽（704）内的条状卡条（901），且上推动块（9）两侧的底部通过连接侧板（902）设置有向其中部延伸水平卡板（903），水平卡板（903）滑动卡设在滑道（703）内，在上推动块（9）的两侧对称设置有锥形开口（904），锥形开口（904）的两侧壁为倾斜的坡面（905），且两侧壁的间距从外向内逐渐扩大，以形成容纳并挤压卡头（801）使其脱离卡口（601）的空腔。